在精炼合金时，加入固体的二氟化氙、四氟化氙，有助于除去金属或合金中所含的气体和非金属夹杂物。宇航飞行器从外层空间返回地球时，外壳与大气摩擦产生高温，如果不用消融剂，飞行器要熔化。消融剂具有两方面的作用：吸热降温，结合等离子体火焰中的电子而使其猝灭。稀有气体的氟化物可作为猝灭消融剂的组分，在高温下，它们分解出电子亲合力极强的XeF+、KrF+，通过它们与等离子体中的电子结合而起到猝灭剂的作用。

稀有气体化合物的实际应用，已经看到了广阔的前景。例如，在铀-235作核燃料的原子反应堆中，过去对如何处理具有放射性的氪和氙裂变产物感到困难，现在可以利用氟化的办法，使它们转为固态的氟化氪和氟化氙，并利用它们氟化能力的不同，将它们作进一步的分离。在铀矿的开采中，氡是一种有害的强放射性气体，也可以通过氟化处理而消除。三氧化氙和四氧化氙对震动、加热都极为敏感，在潮湿的空气中有很强的爆炸力，人们试图探讨将它们用作火箭推进剂的可能性。稀有气体卤化物还可以作为大功率激光器的工作物质。例如，一氟化氙激光器可发射出波长为351.1纳米和353.1纳米的激光束。